2012年10月11日，中国科学院计划财务局组织专家在理化技术研究所对“微尺度材料与结构光学特性评价系统”研制项目进行了现场验收。验收专家组听取了项目组的研制项目工作报告、用户使用报告、财务报告和测试专家组的技术测试报告，现场查看了设备的运行情况，审核了相关文件档案及财务账目。验收专家组认为该系统实现了预期的研制目标、完成了实施方案规定的各项任务，同意通过验收。

该系统由超高真空、分子束外延薄膜制备、低温STM扫描头、低温环境和超导磁体、控制单元、针尖样品处理单元和外围气（泵）路等几个部分集合而成，实现了极低温强磁场的特殊环境与超高真空STM集成，是一套很有特色和创新性的低维纳米体系的测量和研究系统。

利用该系统极低温、强磁场、超高真空极端条件，已开展了低维纳米体系的制备，并对表面结构和局域电子结构、电子输运、磁性等相关物性进行了表征和研究。该系统将为探索低维纳米结构体系的新奇物性和推动纳米器件的实际应用提供技术支撑。