2012年10月12日，中国科学院计划财务局组织专家在理化技术研究所对“微尺度材料与结构光学特性评价系统”研制项目进行了现场验收。验收专家组听取了项目组的研制项目工作报告、用户使用报告、财务报告和测试专家组的技术测试报告，现场查看了设备的运行情况，审核了相关文件档案及财务账目。验收专家组认为该系统实现了预期的研制目标、完成了实施方案规定的各项任务，同意通过验收。

该系统采用独创设计的入射角度与探测角度可分别独立控制的二维旋转探测系统及双方向显微共轴对准调节系统，结合光谱探测技术，克服了目前商用仪器中只能进行单一方向光谱测量、分辨率差、灵敏度低、适用波长范围窄等的缺点，在不同光束入射角与探测角度下实现了微尺度材料及结构的宽波段多种光谱测量。目前，该系统已为国家重大基础研究项目提供了微纳光子学结构与器件的光谱特性评价测试。该项目的成功研制将为微尺度物质与结构光学特性研究提供新的技术手段，对微纳光子学领域的相关研究工作起到重要作用。