2011年2月21日，我院微电子研究所等12个单位通过院向财政部申报的《关于申请采购进口4英寸化学机械抛光机等仪器设备的函》（计资财字〔2011〕1号）和《关于申请采用公开招标以外方式采购DNA分析仪等仪器设备的函》（计资财字〔2011〕2号）已获得财政部批准。此次共批复进口产品12台（套），其采购预算为4865万元；同意5台（套）仪器设备采购变更为单一来源方式进行，采购预算为1076万元。2011年2 月28 日，计划财务局已将相关批复文件批转给各申报单位。